P type M6 monokristallijn silicium zonnewafer met een lengte van 166mm en diameter van 223mm is 12,21% groter dan M2 wafer. het betekent dat zonnecellen gemaakt van M6 substraat zal 12,21% hoger vermogen dan die gemaakt van M2 substraat.
1 Materiaaleigenschappen
Eigenschap | Specificatie | Inspectiemethode |
Groeimethode | Cz | |
Kristallijnheid | Monokristallijn
| Preferentiële Etch Technieken(ASTM F47-88) |
Geleidbaarheidstype | P-type | Napson EC-80TPN P/N |
Dopant (Dopant)
| Boor, Gallium
| - |
Zuurstofconcentratie[Oi] | ≦8E+17 bij/cm3 | FTIR (ASTM F121-83) |
Koolstofconcentratie[Cs] | ≦5E+16 bij/cm3 | FTIR (ASTM F123-91) |
Dichtheid van de pits (dislocatiedichtheid) | ≦500 cm-3 | Preferentiële Etch Technieken(ASTM F47-88) |
Oppervlakteoriëntatie | <100>±3°100> | Röntgendiffractiemethode (ASTM F26-1987) |
Oriëntatie van pseudo vierkante zijden | <010>,<001>±3°001>010> | Röntgendiffractiemethode (ASTM F26-1987) |
2 Elektrische eigenschappen
Eigenschap | Specificatie | Inspectiemethode |
Weerstand | 0,5-1,5 Ωcm | Wafer inspectiesysteem |
MCLT (levensduur minderheidsvervoerder) | ≧50 μs | Sinton BCT-400 (met injectieniveau: 1E15 Cm-3) |
3 Geometrie
Eigenschap | Specificatie | Inspectiemethode |
Geometrie | Volledig vierkant | |
Wafer Side lengte | 166±0,25 mm | waferinspectiesysteem |
Wafer Diameter | φ223±0,25 mm | waferinspectiesysteem |
Hoek tussen aangrenzende zijden | 90° ± 0,2° | waferinspectiesysteem |
Dikte | 180+20/-10 μm; 170+20/-10 μm | waferinspectiesysteem |
TTV (Totale diktevariatie) | ≤27 μm | waferinspectiesysteem |
4 Oppervlakte-eigenschappen
Eigenschap | Specificatie | Inspectiemethode |
Snijmethode | Dw | -- |
Oppervlaktekwaliteit | zoals gesneden en gereinigd, geen zichtbare verontreiniging, (olie of vet, vingerafdrukken, zeepvlekken, drijfmestvlekken, epoxy/lijmvlekken zijn niet toegestaan) | waferinspectiesysteem |
Zaagmarkeringen / stappen | ≤ 15μm | waferinspectiesysteem |
Bow | ≤ 40 μm | waferinspectiesysteem |
Warp | ≤ 40 μm | waferinspectiesysteem |
Chip | diepte ≤0,3 mm en lengte ≤ 0,5 mm Max 2/pc's; geen V-chip | Naakte ogen of waferinspectiesysteem |
Micro scheuren / gaten | Niet toegestaan | waferinspectiesysteem |