【Product Introductie】
Parameter | karakteristiek | ASTM-controlemethode |
Type / Doteerstof | P, boor N, fosfor N, antimoon N, arseen | F42 |
oriëntaties | <100>, <111> verwijder de oriëntaties volgens de specificaties van de klant | F26 |
Zuurstofinhoud | 10 19 ppmA Aangepaste toleranties per specificatie van de klant | F121 |
Koolstofgehalte | <0.6> | F123 |
Weerstandswaarden - P, Boron-N, Fosfor-N, Antimoon - N, Arseen | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
Parameter | eerste | Monitor / test A | Test | ASTM-methode |
Diameter | 125 ± 0,2 mm | 125 ± 0,2 mm | 125 ± 0,5 mm | F613 |
Dikte | 625 ± 20 μm (standaard) | 625 ± 25 μm (standaard) 500 ± 25 μm 1000 ± 25 μm | 625 ± 50 μm (standaard) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Boog | <30> | <30> | <50> | F657 |
Wikkelen | <30> | <30> | <50> | F657 |
Randafronding | SEMI-STD | F928 | ||
het merken | SEMI-STD-schoenen, alleen primaire SEMI-flat, vlakke Jeida, uitsparingen | F26, F671 | ||
Parameter | eerste | Monitor / test A | Test | ASTM-methode |
Front Side Criteria | ||||
Gesteldheid van de oppervlakte | Chemisch mechanisch gepolijst | Chemisch mechanisch gepolijst | Chemisch mechanisch gepolijst | F523 |
Oppervlakteruwheid | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Verontreiniging, deeltjes @> 0,3 μm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, putten, sinaasappelschil | Geen | Geen | Geen | F523 |
Saw Marks, striations | Geen | Geen | Geen | F523 |
Back Side Criteria | ||||
Scheuren, kraaienvoeten, zagen vlekken, vlekken | Geen | Geen | Geen | F523 |
Gesteldheid van de oppervlakte | Caustic geëtst | F523 | ||
【 Productbeschrijving 】
Perfect voor microfluidics-toepassingen. Neem voor micro-elektronica of MEMS-toepassingen contact met ons op voor gedetailleerde specificaties.
Grote voorraad dubbelzijdig gepolijste wafers in alle wafeldiameters variërend van 100 mm tot 300 mm. Als uw specificatie niet beschikbaar is in onze inventaris, hebben we langdurige relaties opgebouwd met verschillende leveranciers die in staat zijn om op maat vervaardigde wafers aan te passen aan elke unieke specificatie. Dubbelzijdig gepolijste wafels zijn verkrijgbaar in silicium, glas en andere materialen die gewoonlijk worden gebruikt in de halfgeleiderindustrie.
Op maat snijden en polijsten is ook mogelijk volgens uw vereisten. Neem dan gerust contact met ons op.
【 Producteigenschappen 】
· 5 "P / N type, gepolijste siliciumwafer (25 stks)
· Oriëntatie: 125
· Weerstandsvermogen: 0.1 - 40 ohm · cm (het kan variëren van batch tot batch)
· Dikte: 625 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade