【Product Introductie】
MATERIËLE EIGENSCHAPPEN
Parameter | karakteristiek | ASTM-controlemethode |
Type / Doteerstof | P, boor N, fosfor N, antimoon N, arseen | F42 |
oriëntaties | <100>, <111> verwijder de oriëntaties volgens de specificaties van de klant | F26 |
Zuurstofinhoud | 10 18 ppmA Aangepaste toleranties per specificatie van de klant | F121 |
Koolstofgehalte | <0,5 ppma="" aangepaste="" toleranties="" per="" specificatie="" van="" de=""> | F123 |
Weerstandswaarden - P, Boron-N, fosforig-N, antimoon-N, arseen | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
MECHANISCHE EIGENSCHAPPEN
Parameter | eerste | Monitor / test A | Test | ASTM-methode |
Diameter | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Dikte | 525 ± 20 μm (standaard) | 525 ± 25 μm (standaard) 381 ± 25 μm 625 ± 25 μm 700 ± 25 μm 800 ± 25 μm 1000 ± 25 μm 1500 ± 25 μm | 525 ± 50 μm (standaard) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Boog | <30> | <30> | <40> | F657 |
Wikkelen | <30> | <30> | <40> | F657 |
Randafronding | SEMI-STD | F928 | ||
het merken | SEMI-STD-flats, alleen primaire SEMI-flat | F26, F671 | ||
OPPERVLAKKWALITEIT
Parameter | eerste | Monitor / test A | Test | ASTM-methode |
Front Side Criteria | ||||
Gesteldheid van de oppervlakte | Chemisch mechanisch gepolijst | Chemisch mechanisch gepolijst | Chemisch mechanisch gepolijst | F523 |
Oppervlakteruwheid | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Verontreiniging, deeltjes @> 0,3 μm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, putten, sinaasappelschil | Geen | Geen | Geen | F523 |
Saw Marks, striations | Geen | Geen | Geen | F523 |
Back Side Criteria | ||||
Scheuren, kraaienvoeten, zagen vlekken, vlekken | Geen | Geen | Geen | F523 |
Gesteldheid van de oppervlakte | Caustic geëtst | F523 | ||
【 Productbeschrijving 】
De productlijn van Microelectronics omvat zowel enkelzijdig gepolijste (SSP) als dubbelzijdig gepolijste (DSP) wafer substraten. Dubbelzijdig gepolijste wafels zijn typisch vereist in halfgeleider-, MEMS- en andere toepassingen waarbij wafels met strak geregelde vlakheidseigenschappen vereist zijn.
We bieden ook rechthoekige en vierkante stukken wafel. Een in wezen realiseerbaar bereik van de randlengtes voor siliciumwafels is 5 x 5 mm2 ... 100 x 120 mm2 enz. Het kosten / wafelstuk hangt af van het materiaal alsmede van het aantal vereiste wafelstukken.
Op maat snijden en polijsten is ook mogelijk volgens uw vereisten. Neem dan gerust contact met ons op.
【 Producteigenschappen 】
· 4 "P / N type, gepolijste siliciumwafer (25 stks)
· Oriëntatie: 100
· Weerstandsvermogen: 0.1 - 40 Ohm · cm (het kan van partij tot partij variëren)
· Dikte: 525 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade